電子行業(yè)解決方案:
電子行業(yè)一般可以分為電子元件及部件、印刷線路板、電真空器件、半導體制造(半導體分立器件及集成電路)、平板顯示器和電子終端產(chǎn)品裝配等幾大主要部分。其中,平板顯示器TFT-LCD 生產(chǎn)過程中要使用多種化學試劑,線路板生產(chǎn)、TFT-LCD等生產(chǎn)排放的廢氣分為酸性氣體、堿性氣體、有毒氣體等。主要產(chǎn)生于基板清洗、化學氣相沉積(CVD)、刻蝕、剝離(去膠)、涂取向膜等主要工藝過程。
針對上述生產(chǎn)工藝中產(chǎn)生的鹽酸、硫酸、氫氟酸酸霧及氨氣等通常采用中和吸收方法;針對HCN、硝酸酸霧/NOx、其他堿性廢氣,通常采用中和吸收+氧化還原+中和吸收組合方法。
中和吸收技術(shù):
工藝流程:
首先,酸性(堿性)廢氣經(jīng)過車間排氣風機引至入口靜壓箱;然后,進入中和吸收塔;再次,通過噴淋循環(huán)泵將中和吸收液送至填料塔,酸堿廢氣在噴淋及填料區(qū)域?qū)崿F(xiàn)中和反應(yīng);最后,通過引風機將處理后尾氣排入大氣。
技術(shù)特點:
A:工藝成熟、凈化效率高;
B:采用進口吸收填料,空塔風更速大、直徑更小,減小占地面積;
C:采用進口吸收填料,液氣比更小、吸收液用量小、運行能耗低;
D:采用進口除霧填料,除霧效率高、為后續(xù)干式處理系統(tǒng)創(chuàng)造條件;
E:自動化程度高,操作簡單,維護方便。
應(yīng)用領(lǐng)域:
主要用于處理HF、HCL、H2SO4及NH2等廢氣處理。
廣泛應(yīng)用于半導體、光電、電子、線路板、電鍍、珠寶、鋼制品制造、紡織、冶金等行業(yè)。
中和+氧化還原+中和吸收技術(shù)
工藝流程:
首先,酸性(堿性)廢氣經(jīng)過車間排氣風機引至入口靜壓箱;然后,進入中和、氧化還原吸收塔;再次,通過噴淋循環(huán)泵將中和、氧化還原吸收液送至填料塔,酸堿廢氣在噴淋及填料區(qū)域?qū)崿F(xiàn)中和、氧化還原反應(yīng);最后,進入二級中和吸收塔,通過引風機將處理后尾氣排入大氣。
技術(shù)優(yōu)勢:
A:組合工藝成熟、凈化效率高;自動化程度高,操作簡單,維護方便;
B:采用進口吸收填料,空塔風更速大、直徑更小,減小占地面積;
C:采用進口吸收填料,液氣比更小、吸收液用量小、運行能耗低;
D:采用進口除霧填料,除霧效率高、為后續(xù)干式處理系統(tǒng)創(chuàng)造條件;
E:采用自行研究配制的強氧化還原劑,有效解決黃煙、惡臭異味問題。
應(yīng)用領(lǐng)域:
主要用于處理HNO2及H2S等溶解性吸收效果不好的酸性廢氣處理。
廣泛應(yīng)用于半導體、光電、電子、線路板、電鍍、珠寶、化工、制藥、塑膠、金屬制品。